光學(xué)隔振平臺(tái)在顯微鏡微觀領(lǐng)域（顯微鏡（SPM），掃描電鏡（SEM），原子力顯微鏡（AFM等））、光學(xué)領(lǐng)域、生物學(xué)領(lǐng)域、微觀硬度測(cè)試、分析天平中的應(yīng)用、音頻回放、唱片與唱機(jī)中的應(yīng)用、真空系統(tǒng)中的應(yīng)用、航天航空等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
接下來小編簡單為大家介紹下隔振技術(shù)的發(fā)展以及類型：
隔振技術(shù)可分為以下幾種，分別是：主動(dòng)隔振、被動(dòng)隔振、無源隔振以及有源隔振等，其中：
1、主動(dòng)隔振：通過傳感器和執(zhí)行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動(dòng)對(duì)目標(biāo)的影響；
2、被動(dòng)隔振：通過機(jī)械裝置限制振動(dòng)；3、有源隔振：使用氣動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)；
4、無源隔振：使用彈簧，彈性體，流體，或負(fù)剛度組件實(shí)現(xiàn)減振。
隔振原理：
1、彈簧：彈簧是一個(gè)簡單的無源隔離器，彈簧反作用于被減振物體，通過變形來吸收一定的能量。一個(gè)簡單的例子就是汽車減振器，在這種情況下，沖擊或振動(dòng)產(chǎn)生機(jī)械能，被轉(zhuǎn)換為熱能，熱能被浸泡彈簧的油吸收，從而減少傳遞到車身上振動(dòng)。其固有頻率可以做到很低，但是阻尼很小。優(yōu)點(diǎn)是擾動(dòng)源頻率和系統(tǒng)固有頻率差很遠(yuǎn)時(shí)，隔振效果非常好。缺點(diǎn)就是一旦共振放大很嚴(yán)重。
2、橡膠：橡膠也是通過變形來吸收振動(dòng)。與彈簧的區(qū)別是，橡膠能在各個(gè)方向吸收。
3、負(fù)剛度技術(shù)：負(fù)剛度隔振臺(tái)提供一個(gè)簡單，可靠，隔振解決方案，可提供6自由度的隔離，低至0.5 Hz或更低的諧振頻率。對(duì)于一個(gè)0.5赫茲系統(tǒng)，可隔離1Hz以上的振動(dòng)，優(yōu)于氣動(dòng)平臺(tái)5-10Hz的范圍可讓多個(gè)隔振臺(tái)一起使用。負(fù)載從幾十公斤到幾噸。易于使用和調(diào)整。比氣動(dòng)平臺(tái)經(jīng)濟(jì)，占用更少的空間，且不需要進(jìn)行維護(hù)。
4、氣動(dòng)平臺(tái)：氣動(dòng)系統(tǒng)采用壓縮空氣活塞，吸收地面的振動(dòng)。其缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)與操作復(fù)雜，需要外部氣源的支持。
